罗茨真空机组启动时的具体步骤，确认前级泵（冲洗水泵）的水箱液位是否达到水箱的3/4以上。

检查中间泵和主泵的润滑油油位，必须达到油窗的3/4以上。

检查罗茨真空泵的中间泵、主泵循环冷却水回路是否完好，打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却水进出口是否正常。

检查中间泵底部缓冲罐排污阀是否关闭。

检查真空泵组电路是否完好，控制柜指示是否正常。

检查真空泵组电极接触式压力表上的中间泵和主泵启动压力是否正常（中间泵启动入口压力大于0.065mpa，主泵启动入口压力大于0.085mpa）。

以上各项检查确认后，真空机组即可启动。打开中间泵、主泵循环冷却水进出口阀门，保证循环冷却水进出口正常。

关闭冲洗水泵缓冲罐排污阀，启动冲洗水泵，正常运行后缓慢开启前级冲洗水泵旁通管阀门和罗茨真空泵进口阀（电机和泵的噪音平衡）。

系统压力达到中间泵设定的允许入口压力后，启动中间泵。若采用自动控制档，则直接切换至自动控制档，机组启动过程自动化。